네가티브 PR (1) 썸네일형 리스트형 포토레지스트 Positive Negative 타입 비교 포토레지스트 공부중 포지티브 타입과 네거티브 타입의 포토레지스가 있다는 것을 알게 되어 내용 공유 드립니다. 필자도 반도체 소재 공부 중 알게 된 내용을 정리하는 것으로 틀린 내용이 있을 수 있고 수집한 사이트의 주소를 같이 공유 드립니다. 네거티브 레지스트 리프트오프 공정은 포지티브 레지스트 리프트오프보다 단계가 적기 때문에 비용 및 시간 효율성이 더 높습니다. 네거티브 포토 레지스트는 울퉁불퉁 한 금속 가장자리를 생성하며 포지티브 포토 레지스트에서 나오는 결과는 좋습니다. 네거티브 레지스트는 집적 회로 처리의 초기 역사에서 널리 사용되었지만 포지티브 레지스트는 작은 패턴 형상 기능에 대해 더 나은 프로세스 제어 기능을 제공하기 때문에 점차 널리 사용되었습니다. 이 보고서의 구조 (atelim.com).. 이전 1 다음
