포토레지스트 주요 소재 중 하나인 Top Anti reflective coating (TARC), Bottom Anti reflective coating (BARC)에 대하 알아볼거에요 약자를 풀어보니 어디에 쓰이는지 단번에 알 수 있죠.
바로 꼭대기 또는 맨아래에 코팅하여 빛 반사를 방지해주는 역할을 하는 소재랍니다.
포토레지스트 리쏘 공정은 빛을 활용하기때문에 반사 방지가 있어야 원하는 모양대로 리쏘할 수 있답니다.
반사율을 제어해야 하는 이유
- 기판은 일반적으로 고도로 연마되고 반사됩니다 (알루미늄, 실리콘, SiO2, 티타늄 등).
- 반사광은 다음과 같은 이유로 처리 문제를 일으킬 수 있습니다.
– 정상파
– 노출 위도(EL) 및 초점 심도(DOF) 감소 – 들어오는 기판 반사율 변동은 임계 치수(CD) 균일성에
영향을 미칠 수 있습니다. – 패턴에는 반사광을 산란시킬 수 있는 날카로운 모서리와 피크가 있을 수 있음(노칭)
– 웨이퍼 지형은 스윙 곡선 효과로 인해 CD에 영향을 미치는 국부적인 두께 변화를 유발할 수 있습니다. – Iso/조밀 바이어스 - 레지스트는 고대비(켜기/끄기 전환)로 개발되어 빛의 미묘한 차이에 민감합니다.
시장에는 두 가지 주요 유형의 반사 방지 코팅이 있습니다 : 상단 반사 방지 코팅 (TARC) 및 하단 반사 방지 코팅 (BARC).
상단 반사 방지 코팅 vs 하단 반사 방지 코팅 - 브루어 사이언스 (brewerscience.com)
Top Anti-reflective Coatings vs Bottom Anti-reflective Coatings - Brewer Science
TARC vs BARC Anti-reflective coatings are an essential part of photolithography with the continual shrinking of pattern geometries. Anti-reflective coatings reduce reflectivity at resist interfaces, thus providing better line width control with minimal los
www.brewerscience.com
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