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패턴의 크기를 줄이는 방법으로는 파장을 축소하거나, 기술적으로 패턴을 새롭게 찍어내는 방식이 있습니다. 파장 축소는 가장 원초적이고도 효과적인 방식으로, 작은 패턴으로 PR(Photo Resist, 감광액)을 감광시켜 진행합니다. 파장 축소 방식은 1980년대 대비 패턴의 크기를 약 97%를 줄이는 성과를 거둔 매력적인 방식으로써, 앞으로도 활발하게 쓰일 것으로 보입니다.
그 외 스페이서(Spacer, 게이트 단자를 보호하는 절연물질)를 형상화하는 방식인 SPT(Spacer Patterning Technology)를 적용한 DPT(Double SPT), TPT(Triple SPT), QPT(Quadruple SPT) 등의 다양한 방식으로 선폭을 2분의 1, 4분의 1, 8분의 1로 축소해 나가고 있습니다.
그중 이중 패너팅 기술을 하기 그림과 같이 요약된것을 공유 드려요
참고 : Polymer Science and Technology Vol. 20, No. 5, October 2009
[반도체 특강] Short Channel과 누설전류 (skhynix.co.kr)
[반도체 특강] Short Channel과 누설전류
이번 반도체 특강에서는 Short Channel Effect의 문제점들과, 이를 어떻게 극복해 나가고 있는지에 대해 알아보도록 하겠습니다.
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